发表(biǎo)时间: 2021-09-06 11:30:38
作者: 成都乐鱼网页版和朗锐芯科(kē)技发展有限公司
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测控设备领域上我国始终(zhōng)落后与国外发达国家,先进(jìn)设备都(dōu)需(xū)要从(cóng)国(guó)外购买,去年疫情贸(mào)易进(jìn)出(chū)口(kǒu)的封(fēng)锁,让国内买不到国(guó)外(wài)先(xiān)进设备而无法(fǎ)进行产品制造,也大多人明白将中国制造转变为中国“智”造迫在眉睫。而测控系统作(zuò)为(wéi)打造国之(zhī)重器的重要技术装备(bèi),其国(guó)产化进程(chéng)更是刻(kè)不容缓。
测控设(shè)备国产化,不仅可将(jiāng)用(yòng)户需(xū)求(qiú)体现在产品上,更(gèng)多地提高(gāo)可用性(xìng),还能全面提高国(guó)产测控(kòng)设备(bèi)的核心竞争力,实现弯道超车。
虽前景光明(míng),但测控设备的(de)国(guó)产化绝非易事,其包括系统(tǒng)级的国产化、OS级的国产化和(hé)芯片级的国产(chǎn)化(huà)“三步走战(zhàn)略”,涉及软(ruǎn)件(jiàn)、硬件、算(suàn)法(fǎ)等众多层面,如何(hé)在保证系统功(gōng)能和(hé)可靠性的同时,快速实现国产化、自(zì)主可控的测控系统,打造一张(zhāng)张闪亮的中国“智”造名片,成为各国内企业亟待解决的(de)难(nán)题(tí)。
纵观半导体的(de)制造(zào)流程,晶圆(yuán)针测是非常重要的一环。检测晶圆(yuán)的响应(yīng)参数进行特(tè)性分类,需通过电压(yā)输出激励待测晶(jīng)圆,再由高(gāo)速(sù)的模拟量(liàng)监测给电(diàn)过程中的响应特(tè)性,同时需要大量DiDo的开关量控制(zhì)探针(zhēn)台位(wèi)置。
针对上述需求,为该晶圆针测环节提供了(le)一款具有(yǒu)16位高分辨(biàn)率和(hé)高达1M的采集(jí)速(sù)度,并可同时输出两路波形(xíng)的(de)高速采集与控制卡(PCIE-1816H),另外(wài)依(yī)据不同的数(shù)字控制点选(xuǎn)配了(le)多款控制卡(PCI-1737/1757/1753 IO)。基(jī)于三大(dà)维度,成功助力(lì)晶圆(yuán)检测设(shè)备实(shí)现国产化(huà)。
在智(zhì)能制(zhì)造的大趋势下,数控机床(chuáng)正向着高精度、高速度(dù)、高生(shēng)产效率的方向(xiàng)发展,这对机床(chuáng)的动态特性提出了更高的(de)要求。此外,通过模态测试与分析建立机床的结构(gòu)动(dòng)力学模型,也成(chéng)为优(yōu)化机床设计与性能、及早发现潜在问(wèn)题的有效途(tú)径。
对于机(jī)床的模态分析而(ér)言,更是一(yī)项(xiàng)“精细活”。其主要是使用(yòng)力锤、激振器或者(zhě)激振(zhèn)台产生脉冲(chōng)冲击,利用加速度传感器在多点进行(háng)同(tóng)步响应信号(hào)的采集,再用数(shù)学分析方法计算机(jī)械(xiè)结构的(de)固有(yǒu)振动特性,每一个模(mó)态都有特定的(de)固有(yǒu)频(pín)率、阻尼(ní)比和模态振型(xíng)。这套(tào)系统此前一直由国外(wài)公司提供,不仅面临着市场(chǎng)供货不足的问题,其高昂(áng)的价格也让人望而却步。
除此之外,国外(wài)模态试验系统也面临着技术瓶颈。为(wéi)保证实(shí)验数据精度和振型辨识要求(qiú),需要(yào)在(zài)数控(kòng)机床的主轴、立柱(zhù)和工作(zuò)台布置几十个(gè)测点(diǎn),每个(gè)测点采用XYZ三向加速度(dù)传感器,采集(jí)通道高达100路以(yǐ)上。国外(wài)系(xì)统的(de)模态测(cè)试系统一(yī)般仅有32通道,只能采取分区测试的方法,不仅非常耗时,而且(qiě)由于各区域的测试(shì)不是(shì)在同一激励下进行的,后续分析计(jì)算也极为复(fù)杂。
针(zhēn)对数控机床模(mó)态试验,为(wéi)客户量身(shēn)打造(zào)了(le)一套104通(tōng)道同(tóng)步振动模态测试(shì)系统。该(gāi)系统采用13张PCIE-1803,每片PCIE-1803支持8路信(xìn)号,共(gòng)104路,使用内部(bù)同步总线可实现纳秒级同步时(shí)间,误差小于100ns。
此外通过增加(jiā)主(zhǔ)机系(xì)统,可以(yǐ)实现200通道以上的同步采(cǎi)集(jí)。应变片信(xìn)号采集通过2片(piàn)PCIE-1813 实现,系统选用IPC-623BP机(jī)箱(xiāng)配合PCE-7B17底板支持15片(piàn)PCIE板卡。软件兼备加速规传感器(qì)的灵敏(mǐn)度(dù)、供电方式、耦合方(fāng)式、采样频率(lǜ)等设置(zhì),同时具有数据采集、曲线(xiàn)显示和数据保存的功能,实为打(dǎ)造系统级(jí)国(guó)产化的理想路(lù)径。有效解决了国外模态测试(shì)系统价格高、备件不(bú)足(zú)的弊(bì)端,保证了系统的精度和(hé)稳(wěn)定性,在与(yǔ)客户的密切合作与快(kuài)速服务中,高效完成(chéng)国产化(huà)替代的进程(chéng)
测控设备(bèi)国产化(huà)“三(sān)部曲(qǔ)”,第一曲“系统级国(guó)产化”已完美谢幕。放眼未来,国(guó)产化之路(lù)任重道(dào)远,仍(réng)有诸多挑(tiāo)战等待(dài)突(tū)破,等待(dài)我们探索其背后的机遇(yù)。下一期(qī)“OS级国产化”,我们将带你揭(jiē)开中(zhōng)国操作(zuò)系统国产化的序幕,敬请关(guān)注!